「プラナリゼーションCMP委員会第211回研究会」における口頭発表のご案内 2023.11.27

2023年12月1日（金）に開催される「プラナリゼーションCMP委員会第211回研究会」にて、口頭発表いたします。

学会名称：プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第211回研究会

演　題　：ダイナミック電気化学測定装置”d-EC”とその適用事例

－ターフェルプロット特性から診たCu-CMPスラリー添加剤の効果－

日　時　：2023年12月1日（金）14:25~14:55

会　場　：プラザエフ（東京都千代田区）

メタル-CMPにおける金属の腐食挙動を把握する手法の一つとして、電気化学測定があります。ダイナミック電気化学測定装置”d-EC”は、先端にパッドを貼付した回転軸や圧力調整部など、CMPを模した機構を有しており、従来の装置に比べて、より実際のプロセスに近い状態で腐食挙動を把握することができます。

本講演では、d-EC装置の概要や、測定圧力、pHを変化させた場合の挙動に加え、当社が新たに開発したポリグリセリン-SYの防食効果をCMP実験と併せて評価した事例について発表いたします。

「プラナリゼーションCMP委員会 第211回研究会」における口頭発表のご案内 2023.11.27