「界面ナノ電子化学研究会フォーラム INEF2024」におけるポスター発表のご案内 2024.10.11

2024年11月8日(金)～11月9日(土)「界面ナノ電子化学研究会フォーラム INEF2024」にてポスター発表を行います。

学会名称：「界面ナノ電子化学研究会フォーラム INEF2024」

演　題　：「Cu-CMPスラリーへのポリグリセリン添加による研磨特性と作用機構」

日　時　：2024年11月8日(金)～11月9日(土)

会　場　：ダイキンアレス青谷(鳥取県鳥取市青谷町)

発表内容：

分子内に多数の水酸基を有するポリグリセリンは、研磨スラリーに含まれる物質と相互作用し、基板表面を保護できる可能性があります。

本学会では、Cu-CMPスラリーへのポリグリセリン添加による研磨特性の評価と推測した作用機構について発表します。

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